第二百十章 舉國之力的產物_重生08:從山寨機開始崛起_思兔閱讀 
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第二百十章 舉國之力的產物(1 / 2)

七月初,海灣科技再一次給徐申學報喜,說是已經研發出來了duv乾式光刻機的樣機,正準備進行第一次開機測試。

得到這個消息後,徐申學推掉了其他的行程,當天就去了海灣科技。

抵達海灣科技後,王道林一臉喜色的帶著徐申學參觀了他們最新的研發成果一台完全自研的duv乾式光刻機。

“從光源係統到物鏡,再到機台等所有的子係統整合以及部分關鍵零部件,都是由仙女山控股旗下或柳河投資,智雲科技旗下的兄弟公司所提供,此外這些子係統的背後所需要的眾多零部件,除了我們自家的兄弟公司外,還有其他超過一千多家國內企業供應。”

“參與這個項目研發的企業數量,直接或間接達到了接近兩千家,各類研究所一百多家,還有十多所著名高校也都參與了進來!”

王道林說著的時候,激動中更帶著感歎“這可是真正的舉國之力才能搞出來的頂級設備啊!”

“我們硬是靠著一家之力,做到了整個歐美日韓整個西方體係整合起來才能做到的事情,這難度,比單純研發一個光刻機更難。”

“如果是依托全球產業鏈,搞這東西雖然技術難度很高,但是我們要做的也隻是係統整合工作而已,難度雖然有,但是不至於有什麼代差,給我們a的零部件供應商,我都敢放話,最多一年時間就能夠弄出來duv浸潤式光刻機甚至進軍euv光刻機!”

“但是我們沒有這些全球範圍的供應商啊,所以很多東西都隻能自己在國內找,實在找不到就隻能自己從頭研發!”

“duv光刻機的全部國產化,其難度大的驚人!”

“很多東西都要從原材料開始研發!”

王道林說著的時候,一旁的南江科技的研發部門負責人曹星辰也是接上了話頭“不錯!”

“我們公司是搞物鏡,為了這個duv光刻機的物鏡,我們是從材料到加工工藝,全都是重新搞的!”

“我們南江科技主導,還拉著一大票研究所,合作企業,同時展開了數十個新材料研究項目,挨個測試各種材料並對材料進行針對性的改進。”

“最終花了兩年多時間,這才弄出來了堪用的材料!”

“但是弄出來材料還不行,然後還得加工啊!”

“這加工更難!”

曹星辰說的時候,也是回想起來了之前的研發困境,不由得感歎“光刻機所需要的鏡片精度是非常高的,通常需要達到波長的五十分之一,比如我們這duv乾式光刻機的光源波長是193納米,五十分之一就是三點八六納米!”

“這種精度的加工,幾乎超過普通人的想象!”

“而我們南光之前在生產i-ine光刻機鏡片以及rf光源鏡片的時候,采用的是國內現有的一些技術,比如小磨頭拋光、磁流變拋光等技術。”

“原有的這些技術用來加工duv光刻機所需要的鏡片還不夠!”

“而且想要在原來的技術路線想要獲得更大的突破,達到蔡司,尼康等廠家的水準難度非常大。”

“為了解決這一問題,我們的研發團隊一邊現有技術進行研發,一邊開發新技術,其中的一項新技術得到了迅速發展,這就是離子束拋光技術。”

說到這個離子束拋光技術的時候,曹星辰整個人都變的激動了起來

“這項技術雖然也很難研發,為此耗費了我們大量的人力物力,但是真正做出來後效果那是真的好啊!”

“利用該技術我們可以輕易的加工出來滿足duv乾式光刻機需求的鏡片,甚至後續工藝繼續改進後,搞出來duv浸潤式光刻機的鏡片也是問題不大!”

duv乾式光光刻機和浸潤式光刻機,雖然使用的光源都是arf光源,但是浸潤式光刻機的光源經過超純水的折射後,波長卻是演變為134納米。

因為兩者雖然光源係統看似一樣,但是對物鏡以及其他子係統的要求是不一樣的。

曹星辰繼續說著“甚至在這項技術上繼續耕耘下去,未來是能夠搞出來精度更高,可用於euv光刻機所需要的鏡片的!”

一代代光科技的技術升級,除了光源係統不斷升級進步外,還需要其他諸多子係統的配合,而物鏡就是這一係列子係統裡最為關鍵的部分。

以上這兩點是影響光刻精度最核心的子係統。

當然,其他方麵,比如機台對準等也不能差就是了。

徐申學聽著這些話,然後翻看著手中的技術手冊,為了照顧徐申學這個不懂技術的人,這份技術手冊用簡單易懂的方式介紹了眼前的這台duv乾式光刻機的基本情況以及各子係統的情況。

也就是之前徐申學常年給自己掛著一個b級科研名額的外掛,然後閒著沒啥事的時候也會經常學習,翻看一些技術,尤其是半導體領域的技術資料。

所以多少也能夠看出來這技術資料上描述的各種技術參數,其背後意味著什麼!

就和王道林說的一樣這是一個舉國之力才能夠搞出來的頂級設備!

而且準確的說,光刻機這東西到了現在,真正能夠靠著一國之力做出來的,隻有華夏了,其他國家因為全球化分工的緣故,哪怕是美國也無法單獨做出來光刻機了。

還是物鏡為例子,主導的是南江科技,但是材料的研發實際上是和數十個研究所一起合作研發的。

沒有這麼多材料研究所,高校配合你一起玩這東西,光靠南江科技自己那點材料研發人員,再過十年也搞不出來!

鏡片加工也是,雖然加工是南江科技加工的,但是很多設備其實都是眾多科研所專門定製研發的。

其中的核心設備離子束拋光設備,不少核心零部件是幾家國內頂級的科研機構,一群大佬們帶著眾多科研牛馬在實驗室裡做出來的。

哪怕整個研發過程裡,南江科技都是給了錢的,但是很多事情,就不是說給錢了就能找到人和機構給你研發的。

你想要花錢搞這東西,你也得有這麼一個龐大的國家,並且這個國家有充足的底蘊才行。

徐申學合上了技術說明書,再看看前方的這台‘大櫃子’,發出了感歎“不容易啊,算起來也搞了好幾年了,總算是看到這東西的真麵目了!”

感歎完,徐申學對著周邊的一圈“大家都辛苦了!”

“來,讓我們的大寶貝動起來,不是說要進行測試嗎,讓我看看代表我們最頂級的工業水準的真材實料如何!”

王道林道“好嘞,我們的測試工作之前就已經準備妥當了,就等著徐董你過來看呢!”

海藍科技這邊,也有一個簡單的測試用的小產線,有矽晶圓片以及其他的一些核心設備,進行生產不可行,但是進行測試則是問題不大。

隨著測試開啟,無塵實驗室裡的科研人員也開始進行了操作,暖黃色的機房裡早就準備好的矽晶圓片被噴塗上光刻膠,經過一係列操作後,再被送入光刻機的機台上進行光刻。

光刻機啟動起來後,其實徐申學也看不到其內部的運轉過程,畢竟光刻機工作對環境的要求非常高,除了極少數專屬工作人員經過嚴密的除塵後可以進入外,普通外人是不能進去的。

彆說人不能進去了,這光刻機工作的時候,對光線都有要求……所以光刻機的測試車間裡,燈光都是暖黃色的。

因為其他色調的燈光,會影響到光刻機的光源波長……

製造芯片可是當代人類最為巔峰的生產技術。



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