高永明派馮承銘過來,除了保證光掩膜版安全外,其實也想著讓他去學學,四塊光掩膜版怎麼去生產soc上帝芯片。
要知道龍芯國際芯片工廠,可是有20納米光刻機的。
兩次多重曝光技術10納米,四次是不是5納米芯片了?
當然了。
這隻是簡單猜測。
況且那台20納米光刻機,荷蘭工程師也不會輕易讓他們碰,最多就用用28納米光刻機,前提還得有相應的圖紙。
馮承銘淡然一笑道:“可以學習進步的機會,我肯定不會錯過,林首席可不要吝嗇教學啊。”
“教,國產聯盟嘛。”
林天聳了聳肩道。
“哈哈,那就先謝謝了。”馮承銘心情大好。
兩人的這番對話,讓任國非、段勇平、陳永等企業老總不由得暗自吃驚。
馮承銘是誰?
帝都龍科院的頂級光刻院士!
據說他參與的光刻項目,無不是國家重點項目,是龍國為數不多的幾位光刻領域院士。
聽著兩人的交談,他們怎麼感覺林天的光刻技術,是遠遠在馮承銘之上的?
難不成……
多重曝光技術……
幾人想到了什麼,內心掀起驚濤駭浪。
他們的目光不由得看向陳星的側臉,好像在詢問,這種人才總不可能是曲程介紹的了吧?
如果不是曲程介紹,那陳星是怎麼把他招到麾下的?
救過他的命?
還是說,陳星真有大背景?
在任國非幾人疑惑滿天飛時,陳星直接無視了他們目光,而是看向馮承銘道:
“既然四塊光掩膜版也到了,那我們就共同見證,這第一塊soc上帝芯片的問世吧。”
話音剛落,馮承銘點了點頭,連忙附和道:“那我們進去聊,正好可以讓林首席教學教學。”
“那哥幾個就進去吧。”
段勇平也招呼道。
陳永強壓心中激動,同樣招呼道:“沒錯沒錯,我們也彆在這吹冷風了,進去工廠內部再說。”
現在他的嘴角比ak還難壓,他實在太興奮了。
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無意淘來的48納米duv光刻機,在這個時候派上用場,還能生產14納米芯片,今晚最大受益人除了陳星就是他陳永了。
因為見證過28納米的開天基帶芯片生產,現在的48納米光刻機在他眼裡可是香餑餑,為此他這段時間也在想儘辦法去淘光刻機,為國產聯盟做貢獻。
“那就走吧。”
林天率先移開腳步。
這幾天為了教藍綠廠工程師,他可謂是煞費苦心,都把這裡當成自己家了。
好在,有一批人悟道了。
……
當陳星馮承銘等人走進工廠,林天輕車熟路地將眾人領到了換衣室更換防塵服。
穿戴整齊,確保沒有紕漏以後,他們帶著清潔過後的皮箱走進了光刻機的潔淨室。
“老總們好!”
“林首席好!”
藍綠廠的光刻工程師們早早等候,他們早就知道,今晚會有大人物到來。
“不用客氣了。”陳永擺了擺手,看向林天道:“林首席你看現在該怎麼弄?”
林天沒有急著回答他,而是看向陳星,征求同意道:“總裁,那我可要開始了?”
四塊光掩膜版的多重曝光技術,如果一旦演示完成,很有可能讓其他工程師學了去,他才會特意征求同意。
要是陳星搖頭示意,他是可以留一手的。
然而陳星覺得沒這必要,未來肯定還是要靠龍芯國際、藍綠廠幫忙量產芯片的,多重曝光技術也算是讓他們嘗些甜頭,鞏固彼此之間的利益了。
“開始吧。”
陳星淡淡回應。
隨著陳星點頭,林天開始了他的光刻獨秀。
利索打開馮承銘帶來的皮箱,露出裡麵的四塊光掩膜版。
因為考慮到表麵有灰塵,生產前的第一步就需要清洗,緊接著才是區分光掩膜版型號。
四塊光掩膜版不比兩塊的,它需要區分好順序,不能出錯,出錯就相當於毀壞了一張矽片。
龍芯國際也沒馬虎,四塊掩膜版都按照林天當初的要求,標注上的光刻序號。
當生產設備都調試完成,林天大手一揮道:“準備生產,矽片清洗烘乾塗膠。”
不等藍綠廠的工程師行動,馮承銘親自拿矽片去清洗,並放入烘乾的運送設備。
林天則是安裝掩膜版,數次校準以後,他講解道:“第一塊光掩膜版可以隨意放,因為它是地基,之後的三塊光掩膜版,必須要做到每一步都要在預定精度範圍,1納米誤差都不行。”
“明白了。”
“明白了。”
周圍工程師紛紛應答。
在眾人圍觀下,林天開始啟動光刻機,進行第一次的曝光,在矽片上作畫圖案。
第一次曝光結束。
取出矽片蝕刻清洗,緊接著是第二次塗抹光刻膠,林天用上了第二台光刻機。
第二次曝光很明顯,他比第一次專注了許多。
“第二次光刻不能用任何偏差,曝光的圖案應該在第一次圖案納米圖案的中間位置。”
“這就好比一條主乾道,第一次我們是修了這個主乾道,第二次就是在這個主乾道的中間畫上一條兩邊對稱的線。”
沒有技巧,全憑經驗。
林天啟動光刻機,進行第二次的曝光,讓光刻膠疲軟,緊接著繼續用蝕刻溶劑清洗。
每次曝光、蝕刻都會在半導體矽片留下圖案,一連四次的曝光讓馮承銘等工程師看得目瞪口呆。
最後一次時,林天繼續講解道:“第四次曝光,不僅要進行光刻,還要進行離子注入,增加電導性,說白了,就是你們之前學的單次芯片生產步驟。”
“但重點是,我第三步是先刻畫道路的左邊,第四步,則是要刻畫道路的右邊,這樣一來,完整的電路圖案就顯現了。”
簡單講述後,他不斷用設備調整光掩膜版,當達到預定位置時,他再次啟動光刻機。
光刻機在接收到啟動指令後,立即就對12寸半導體,接近三百個芯片裸片進行曝光。
五分鐘後。
半導體矽片被取出。
此刻所有人大氣不敢喘,馮承銘接過矽片以後,親自去切割檢測參數性能。
當檢測儀器顯示,該裸片的納米等級是14納米,並且電路圖完美運行那刻,他強壓心中的激動,鄭重宣布道:
“成了!”
“soc上帝芯片成了!!!”
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咳咳,剛才複製章節錯了,現在改回來了,抱歉。
(本章完)
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