第502章芯片技術的新瓶頸
黎明光學研究技術中心。
方光圻教授麵對最新的步進式光刻機項目的困境,眉頭完全皺在了一起。
“屠教授,我們的光學物鏡係統現在還是不能達標,問題究竟能不能依靠我們自己解決?”方光圻教授知道負責光學部份的屠教授團隊已經儘力,但是拿出來東西精度仍然沒法達到新的2微米級彆光刻機100樣機的需要,這台以gca的步進式光刻機ds4800為藍本的樣機。
任重已經給大家帶來了相當充分的設計資料,對於原理及原理的論證早就完成了,甚至也完成了3微米樣機50的開發,成功投入到現實的生產中,把8080芯片的生產良品率提升了一個新的高度,直接把芯片成本打下了一個數量級,從幾百美刀級彆降低到了幾十美刀。
而且用50光刻機生產出了更加複雜的8086和8088芯片。
但是在進一步提升的過程中,這套係統卻很難穩定達到2微米的加工級彆。
而按照芯片設計研究中心那邊的設計,下一代芯片80286需要采用2微米以下的新工藝設備才能生產,按照設計工程師的初步估算,新型cpu芯片的晶體管數量已經從8086的2.9萬個膨脹到了空前驚人的13萬個以上晶體管。
這就逼迫光刻機研究不得不進一步挖潛。
“方教授,從我們目前的光學技術能力來說,現在要進一步提升難度已經非常大了,雖然我們不想承認,但是事實上現在的光學物鏡已經是我們技術的極限,如果要進一步提升,恐怕隻有用時間來慢慢打磨提高了,在這方麵相比蔡司這些頂級光學公司來說我們的起步基礎實在太差了。”屠教授是從三德子歸國的人員,曾經在三德子的蔡司工作過。
正因為廣攬天下人才回來,方光圻領導的光學研究所才會快速擴張發展成為黎明光學研究技術中心這樣一個數千人的大研究機構,並且從單純光學設備研究開始承擔起來幾代光刻機的研究任務。
從最初的接觸式光刻機開始,到發射式光刻機的研究,方光圻這一生才走了一半多一點,他們就已經走到了這個星球光學設備研究的巔峰。
然而這一切都是靠著任重直接開掛,將設備最為核心的設計問題拿出來後,他們按照這些設計努力去實現。
現在走到了極致狀態後,曾經具有的一些短板就體現出來了。
雖然說光刻機光學鏡頭的製造原理並不複雜,但要做出超高精密度的光刻鏡頭,在技術和工藝兩方麵均有非常大的難度。在技術方麵,大數值孔徑na)的技術難度非常高,需要基於雙高斯結構設計組合出20枚左右的鏡片,還要做到分攤球差、平衡場曲、抵消畸變。此外,為保障晶圓圖案的質量,光刻機中每一塊透鏡的位置誤差都必須小於1n,同時還要能儘量消除光損失產生的熱量。
在工藝方麵,光刻機所要求的鏡麵光潔度非常高,需要采用精度最高的打磨機和最細的鏡頭磨料,這些除了在材料方麵要求外,還要有技術極其高超的老師傅把關才行,因為先進光刻機鏡頭全部由手工打磨而成,要求高純度透光以及高拋光。
而在這方麵,黎明光學研究技術中心最強的技術師傅就是屠教授,但是在三德子的蔡司,屠教授當初隻能算一個普通的加工技術人員,距離公司頂級大師傅還有很長一段距離,何況有些關鍵技術這些頂尖技術人員並不會傳授。
“屠教授,我們要想快速達到設計指標,按照你的想法,我們是否需要同蔡司這樣的光學巨頭合作,讓他們按照我們的要求設計製作這套光學物鏡係統?”方光圻教授沉思一會兒後問道。
屠教授有些禿然的苦笑道,“目前恐怕隻能如此了。”
方光圻點了點頭,下定了決心。
任重對於方光圻的國際合作請求毫不遲疑進行了批準。
在一個晴朗的上午,位於巴登符騰堡州的奧柏科享市迎來了一場重要的商業接待活動。
隨著一輛黑色轎車的緩緩停駐,東大方光圻教授及其隨行團隊準時出現在了這座充滿曆史韻味的小鎮。蔡司公司的總裁卡博特先生早已在市中心那座標誌性的辦公樓前等候多時,他身著筆挺的西裝,麵帶微笑,顯得既莊重又熱情。
“方教授,非常榮幸能在奧柏科享迎接您的到來。”卡博特總裁親自上前,伸出手與方光圻教授緊緊相握,他的聲音中充滿了誠摯與期待。這一刻,不僅是對個人情誼的尊重,更是對即將展開的合作可能性的高度重視。
這次接待的背後,隱藏著一段不平凡的籌備過程。數日前,從國家外交部門傳來的一則消息,讓卡博特總裁格外振奮。雖然東大方麵在外交場合上並未透露具體的合作細節,但那份明確表達出的希望與蔡司建立深度戰略夥伴關係的意願,無疑為蔡司尋找新的增長點帶來了前所未有的機遇。卡博特深知,東大的到訪絕非僅僅為了采購幾台望遠鏡那麼簡單,背後必然蘊含著更為深遠的意義和合作潛力。
在簡短而溫馨的寒暄之後,方光圻教授向卡博特總裁介紹起了自己的團隊:“非常感謝您的熱情接待,卡博特總裁。我身邊這位是屠教授,他過去有幸在蔡司這家享有盛譽的公司工作過,對蔡司的技術與文化有著深厚的感情和理解。”屠教授微笑著點頭致意,卡博特聽到這個信息,臉上笑容更盛,上前緊緊握住屠教授的手裡,“歡迎屠教授!”
屠教授的這一段過往經曆無疑為雙方的合作增添了幾分親切與信任。
兩天後,重新會聚在會議室後。
雙方寒暄後的氣氛有些微妙起來。
“方教授,屠教授,二位久等了,希望我們的巴登符騰堡的美酒佳肴能稍許緩解倆位的旅程勞累。”卡博特總裁嘴角帶著一絲微笑。
不過在方光圻教授看來,在這微不可查的笑意開場白中帶著幾分試探。
“我們的技術團隊經過兩日不眠不休的審閱與研討,對於貴方提出的光學物鏡係統設計方案與嚴苛要求,我們得出的結論是——可行。”卡博特話鋒一轉,直擊要害。