天宇科技被突如其來的訂單推動著高速運轉。那僅有的三套光刻機生產線,如同瓶頸一般,製約著芯片生產的規模與速度。林宇再次踏入薑老的實驗室,心中滿是對光刻機技術進展的期待。
實驗室裡一如既往地彌漫著嚴謹而專注的氛圍。各種儀器設備發出輕微的嗡嗡聲,仿佛在訴說著研發工作的緊張與忙碌。薑老正站在一塊巨大的白板前,上麵畫滿了複雜的光路圖和技術參數,他正和幾位年輕的研究員熱烈地討論著。
看到林宇進來,薑老臉上露出一絲欣慰的笑容:“林總,你又來關心光刻機的進展了。”
林宇急切地回應道:“薑老,這訂單壓力實在太大了,光刻機的產量直接關係到我們能否按時交付產品啊。上次那100納米光刻機技術現在進展得怎麼樣了?”
薑老放下手中的筆,帶著林宇走到一台大型設備前。這台設備被各種線纜和防護裝置包裹著,看起來充滿了科技感。
“林總,你看,自從上次你來過後,我們在100納米光刻機技術上又取得了不少關鍵的進展。”薑老一邊說,一邊示意助手打開設備的展示模式。
設備的顯示屏上開始出現各種數據和模擬動畫。薑老指著屏幕上的一個部件模型解釋道:“這是我們重新設計的光刻鏡頭,在你給我們的技術基礎上,我們進一步優化了鏡頭的光學結構。現在這個鏡頭的數值孔徑提高了不少,能夠更有效地收集和聚焦光線,這對於提高光刻分辨率至關重要。”
林宇看著屏幕上複雜的結構模型,心中滿是驚喜:“薑老,這看起來很了不起啊。那這個鏡頭在實際測試中的表現如何呢?”
薑老微微一笑,帶著林宇來到一個測試間。測試間裡,一台小型的光刻實驗設備正在運行。透過觀察窗,可以看到微弱的光線在芯片樣本上精確地刻蝕著微小的電路圖案。
“林總,我們已經進行了多次實際測試。這個新鏡頭在100納米尺度下的光刻精度已經非常穩定了。它能夠清晰地刻出複雜的電路結構,而且在不同的芯片材料上都表現出了良好的適應性。”薑老自豪地說道。
林宇心中的一塊大石頭落了地:“薑老,這真是個好消息。那euv光源的穩定性問題呢?上次您提到這個是一個關鍵的挑戰。”
薑老的表情變得嚴肅起來:“林總,euv光源的穩定性我們也有了很大的改善。你還記得上次我們調整了光源的激發頻率和能量輸入方式嗎?在那之後,我們又對光源的內部結構進行了優化。”
薑老帶著林宇來到一個單獨的房間,裡麵擺放著一個巨大的euv光源裝置。裝置周圍布滿了各種監測儀器,數據在屏幕上不斷跳動。
“我們改進了euv光源的等離子體產生機製,通過精確控製電子的注入和磁場的約束,使得等離子體的穩定性大大提高。現在,euv光源的輸出功率波動已經控製在一個非常小的範圍內,基本能夠滿足長時間光刻的需求。”薑老詳細地介紹著。
林宇仔細觀察著儀器上的數據,臉上露出了滿意的笑容:“薑老,您和您的團隊真是太厲害了。這對我們公司來說是一個巨大的突破。”
薑老擺擺手:“林總,先彆高興得太早。雖然我們在這些關鍵部件上取得了進展,但整個光刻機係統還有一些問題需要解決。”
林宇心中一緊:“薑老,還有什麼問題呢?”
薑老帶著林宇回到白板前,指著白板上的一些電路圖和控製係統圖說道:“林總,你看,目前我們的光刻機控製係統還不夠智能化。在光刻過程中,需要實時監測和調整的參數非常多,比如光刻膠的曝光劑量、工作台的移動速度、光源的功率等等。我們現有的控製係統在處理這些複雜的參數時,響應速度和精度還有待提高。”
“薑老,我仔細思考過您之前提到的光刻機控製係統的問題。我有一些想法,或許能夠對其進行優化。”林宇自信地說道。
薑老眼睛一亮:“林總,那你快說說看。”
林宇走到白板前,拿起筆開始畫圖講解。“目前控製係統在處理多個複雜參數時響應速度和精度不足,我們可以從架構上進行重新設計。首先,采用分層式的控製係統架構,將整個係統分為感知層、決策層和執行層。”
林宇在白板上畫出簡單的架構圖,繼續解釋道:“感知層負責實時收集光刻過程中的各種參數,如光刻膠的曝光劑量、工作台的移動速度、光源的功率等。我們可以采用更先進的傳感器技術,提高參數采集的精度和頻率。”
一位年輕的研究員問道:“林總,那目前的傳感器技術可能無法滿足這麼高的要求,我們需要重新研發嗎?”
林宇微笑著回答:“我們不需要完全重新研發。可以對現有的傳感器進行改進,通過優化傳感器的材料和結構來提高性能。我知道有一些新型的半導體材料在傳感器應用方麵有很大的潛力,我們可以嘗試將其引入。”
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