綠城市。
2007年元旦剛過。
高新區真理電子工廠，迎來了京城科工委的專家調研團。
由於趙主任親自掛帥，使得平原省、綠城市兩級部門不敢怠慢，主要領導都到場親自陪同。
這樣的大陣仗，林暢也是第一次麵對。
他準備了簡短的歡迎儀式，然後陪同著領導和專家們一起進入廠區。
主要經辦人劉彬、許安易，給來訪的眾人講解矽片廠、晶圓廠的建設情況。
花費了一個多小時，領導們和專家團在廠區內的建設工地，走馬觀花的看了一遍。
京城大學的齊教授感慨道：“國內投建的幾家芯片製造廠，我都參與或實地了解過，沒想到你們的廠房建設，竟然全是自研技術，而且指標還這麼高！”
許安易笑著回道：“我們在晶圓廠內的布局上，也參考了不少國外的方案。”
“但世界上目前已經投產、最先進的隻有65納米工藝，而我們的目標是45納米製程甚至更小，而且還是12寸的大晶圓，需求的生產環境差彆比較大，沒有參照對象隻能自己建立新的指標和要求。”
對於他自誇式的回答，不少專家都皺起了眉頭。
某大學教授沉聲道:“不管你們廠房的建設技術是自研還是引進的，但話還是不要說太滿！據我所知，因特爾對於45納米的研究很早就開始了…”
旁邊一位中年教授也插話道：“有乾勁是好事，但口號喊得再大也沒用，得拿出真材實料來，不要像那個研發‘漢芯’的人一樣鬨出笑話！”
專家團來之前，看了不少這次調研對象的技術資料。
真理科技宣稱成功研發的12寸晶圓技術，就已經夠讓人吃驚了，更彆說比世界、比燈塔國都要先進的45納米製程了。
曾經獲獎無數的“漢芯”專家，造假吹牛都不敢說這麼大，超越世界的製程技術是那麼容易的？
一旁陪同的綠城市市長蔡元嬰，聽到這麼多專家質疑，心裡很是不平。
他站出來笑著說道：“林總，要不咱們直接去實驗室，看看你們的設備？畢竟領導和專家們隻看過上報的技術資料，還沒見到過實物啊。”
趙主任笑嗬嗬的看了蔡元嬰一眼，也說道：“真理科技之前的成就，已經得到了充分驗證，我們這次興師動眾的過來，也是為表達部委乃至國家對你們的重視，所以林總方便的話，就優先展示你們在芯片製造領域的重要技術成果吧。”
林暢笑著點點頭，“沒問題，大家請跟隨我去那邊的實驗樓。”
實驗樓一樓。
這裡整層都被改造成芯片實驗室，已經小批量的在試生產芯片了。
劉彬作為真理半導體的負責人，從晶圓的加工設備開始，一路帶著大家觀看切割、研磨等各個工序。
然後是光刻、刻蝕、沉積直到封裝測試的整個工藝流程。
穿著防護服的劉彬，指著剛剛完成封裝的一批45納米製程芯片，大聲的宣講著：
“各位領導，各位專家，矽晶的製備設備我們也已經製造完畢，但在實驗樓不好部署展示。”
“目前能看到的工藝流程中，包括eda芯片設計軟件，掩膜板的製作，光刻機以及重要的耗材等，這些核心設備全都是我們獨自研發，次要設備是在國內相關廠家定製的，整個芯片製造產線可以說是100夏國製造！”
他的話音剛落，領導和專家團便激動的鼓起了掌！
整個參觀過程大家都是靜默的，誰也沒想到這個麵積龐大的實驗室裡，如此先進的設備竟然都是自研的。
那台名為zl400的浸沒式duv光刻機，采用了193納米arf光源，這可是比荷蘭asl公司正在研發的xt1900i，更早實現了量產45納米製程芯片啊。
而最牛x的是，真理科技竟然同時研發出生產5納米以下芯片的euv光刻機，雖然目前光源曝光率還比較低，但這可是世界獨創！
驚歎過後，專家都在圍著真理科技的研究員們，詢問相關的技術問題，也有不少人在測試機上查看產出芯片的參數。
而來自某光學研究所的李工，卻拉著劉彬走到一旁，詢問euv光刻機中的紫外線是靠什麼產生的。
劉彬笑道：“李工，我們林總親自設計了一款激光放大器，將較弱的激光脈衝提升至一萬次，最終輸出的平均脈衝功率穩定在25千瓦，這才基本滿足了光刻所需的極紫外線，後續我們的目標是40千瓦。”
李工點點頭道:“這已經很不容易了，那你們的發射器的光學組件也是自己製造的嗎？”
“是的，從oled屏幕真空蒸鍍機延伸出的鍍膜技術。”劉彬想到林暢的囑咐，回答的很乾脆。
參觀完實驗室後，眾人來到工廠一處辦公樓的會議室。
趙主任和平原省一把手王石故意坐在最後麵一排，把前麵位置讓給專家團們。
“石港同誌，我得先道個歉，之前否了你們省裡申請的扶持政策，是我先入為主了。”
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