第249章真的隻花了一晚上的時間?
徐洲知道,這次的項目有多麼重大的意義,不僅僅是一個橫向課題而已,誇張一點兒說,甚至會影響到國家未來芯片行業的進展。
相比於之前與彼亞蒂的橫向課題,這次的課題都要更加重要許多。
“這一次我們研究的課題,主要是有關芯片原材料的技術。我們需要研究出更好的集成電路矽片平坦化技術,以增加芯片加工過程的效率,保證芯片材料的質量。”
將這項研究交給寧晨和徐洲等人,是非常合適的,因為他們之前便做過很多有關矽的技術,即便放眼全國,他們也算是矽材料領域的專家了。
聽到寧晨的話,徐洲也點點頭說道:
“是的,為了得到準確的光刻圖案,我們必須要提高矽片刻蝕層的麵型精度,以及微觀表麵質量。對於矽片的尺寸,我們有非常嚴格的要求。”
除了矽片的長、寬、厚度之外,矽片的局部平坦度需要控製在50n之內,正麵的微粗程度,更是要求保持在0.1n的水平範圍上,這是一項並不容易達到的技術要求。
大家經過一番討論之後,製定了兩種主要的研究方向。
第一種研究方向,是在常用的矽片平坦化技術的基礎上進行改進。
目前市麵上主要的矽片平坦化技術方法,包括熱流法、旋轉玻璃法、回蝕法、電子環繞共振法、化學機械平坦化等等。
這其中,化學機械平坦化是最為常見,也是最為成熟的方法,在這個方法上進行改進,相對來說也會更加的容易,更有可能取得研究的突破。
而另一種研究方向,便是創造全新的矽片平坦化技術。
這種研究方向並不容易,屬於一種完全的創新,所需要做的工作也會多很多,但並不容易取得什麼有價值的成果。
包括寧晨在內的實驗室成員,也都傾向於第一種研究方案,隻是同時保留了第二種研究方向的可能。
“今天回去之後,我們都考慮一下可以嘗試的方案。我們優先對於化學機械平坦化的方法進行改進,明天早上來實驗室一起討論可能的實驗方案。”
一天的時間,很難做出非常詳細的實驗方案,當然寧晨也並不是想用一天的時間去解決方案的問題,而是可以把時間線放長一些,隻是需要大家每天都進行討論罷了。
即便是寧晨,也不能僅僅憑借自己的力量去解決各種問題,還是需要與其他人進行交流與合作。
晚上,寧晨回到自己的書房,思考起有關化學機械平坦化技術的改進方案。
寧晨先是總結著,傳統化學機械平坦化方法的各種缺點,並嘗試著從這些角度上進行優化。
傳統的化學機械平坦化技術,因為基於遊離磨料、拋光墊和矽片之間的磨損機理,工藝參數比較多、加工過程不是很穩定,不太容易實現自動化的控製,而且生產率也比較低。
與此同時,由於拋光墊是具有一定彈性的有機織物,在拋光時對表麵材料去除的選擇性不高,會導致產生包括過度拋光、氮化物腐蝕、碟形凹陷等各種各樣的缺陷。
除此之外,傳統的化學機械平坦化技術還有幾種其他的缺陷,而這些都是有可能通過改進來獲得提升的。
寧晨在腦海中,快速思考著這些問題的解決方式,同時結合著小智的模型化處理能力,來對自己的這些想法進行基本的測試。
經過一番高強度的分析和思考之後,寧晨突然想到了一種解決問題的方向。
“有了……如果能夠在磨料中加入樹脂結合劑,形成具有全新複合結構的拋光墊,代替傳統化學機械平坦化技術中的遊離磨粒和拋光墊,理論上就是可以達到更好的效果的!”
這樣的方式,由於采用的是固結磨料拋光墊,其中並沒有遊離磨粒,可以大大減輕在平坦化過程中造成的磨損。
在經過小智模型化處理功能的驗證之後,寧晨確定了這個方向的可行性的確很高,完全有可能解決傳統化學機械平坦化技術中,存在的各項問題。
寧晨馬上將整個方案整理了出來,當寧晨完成了這項工作之後,看了一眼時間,也不過才晚上十一點而已。
“真沒想到,我能在今天晚上就把新的實驗方案給做出來了。”
寧晨對於自己的速度也有些詫異,而且這還是在沒有利用任何係統特殊技能的情況下,所達成的效果。
“看來,在腦力提升之後,我的思考速度又有了一些提升啊。”寧晨心說道。
雖然在任務刷新之後,寧晨的腦力指數也才提升了幾點而已,但在腦力指數很高的時候,每一點的腦力指數提升,都可以帶來非常明顯的提升效果。
換做是以前,寧晨或許需要一天多的時間,才能夠解決同樣的問題。
第二天,大家來到實驗室,徐洲按照昨天的計劃,組織大家一起進行開會。