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第45章 第七次測試成功,變數(1 / 2)

蘇哲聽到第七次測試成功,興奮的從椅子上跳了起來。

來到辦公室門口,看見範曉明激動的朝他跑了過來。

“成了……小哲!我們成了,第七次測試成功了,鏡麵……鏡麵……”範曉明來到蘇哲麵前,喘著粗氣斷斷續續的說。

“曉明哥!你慢點說,鏡麵怎麼呢?”蘇哲提醒。

“測試的檢測結果出來了,光學鏡頭的平麵鏡鏡麵能達到0.08納米的麵型精度峰穀值和18皮米的表麵粗糙度,這樣的精度已經超過了蔡斯,一舉成為世界第一。”範曉明說著豎起了大拇指。

“比理論精度差了點……測試的兩組都是這個精度嗎?”蘇哲連忙問。

理論和實際還是有些差距的,能做到0.08納米的麵型精度峰穀值和18皮米的表麵粗糙度,已經非常不錯了。

至少超過了蔡斯的0.12納米的麵型精度峰穀值和20皮米的表麵粗糙度。

“不!另外一組鏡片的檢測結果還沒出來。”範曉明滿臉笑容的說。

“走!我們去實驗室看看。”蘇哲說著關上了辦公室的門。

兩人一路無話,直奔離子束拋光技術研究實驗室。

路上,其他實驗室的人紛紛探出頭來,看著急匆匆的兩人。

“聽到了嗎?小老板說第七次測試成功了。”

“那是不是意味著大老板他們突破了離子束拋光技術!”

“和小老板一起的是蘇哲吧!聽說第七次測試和蘇哲有關,也不知道真假。”

……

蘇哲和範曉明剛趕到離子束拋光技術研究實驗室,就聽見熱烈的掌聲和歡呼聲。

“成了!終於成了,一年多的時間,七次測試,太不容易了。”

“dyn離子束拋光技術成了,能做euv光刻機光學鏡頭了,我們將衝擊光學鏡頭高端市場,擊敗所有對手,一統……”

“一年工資的獎金,半個月的假期,想想就興奮。”

……

研究人員見到蘇哲和範曉明進來,鼓掌聲更響了。

包正義見到蘇哲,連忙迎了上來,大聲說:“謝謝!太謝謝了!沒有你提供的dyn離子束拋光技術,我們還不知道要進行多少輪測試。”

“太客氣了!包教授,第二組檢測結果如何?”蘇哲看著一臉激動的包正義問。

“好!非常好!和第一組差不多,鏡麵達到0.09納米的麵型精度峰穀值和19皮米的表麵粗糙度。”包正義指著他工位上的顯示屏,“這樣的精度還是因為我們倉促測試的結果,等設備定型了,精度還會更高。”

蘇哲看了看顯示屏上兩組光學鏡頭鏡片的鏡麵檢測結果,如同範曉明和包正義說的那樣,雖說沒有達到理論值,但比蔡斯加工的精度高。

這樣的加工精度完全滿足euv光刻機光學鏡頭的需要,國內芯片製程工藝能全麵突破了。

他也能拿到提前預支的那一千萬了,就是不知協議啥時候簽?

正想這些的時候,耳邊傳來包正義的喊聲。

“曉明!趕緊發邀請函,讓那三十三家明天來參加技術報告會,對了!通知公正人員和法務,dyn離子束拋光技術驗證成功,協議就該簽了。”


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