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第二十章 真空鍍膜(上)(2 / 2)

學姐順著許秋的目光看去,主動介紹道

“這個是晶振裝置,探頭處裝有晶振片,用來實時檢測蒸鍍的薄膜厚度。它的位置一定不能亂動,因為現在的參數是已經標定過的,如果移動了它的位置,對膜厚的檢測結果就不標準了。此外晶振片也是有壽命的,所以需要定期更換晶振片,並重新標定厚度。”

艙體最上麵是一塊大的圓形金屬擋板,以及一個可以旋轉的樣品台。

陳婉清道“蒸鍍過程中,氣態靶材分子會在艙體內運動。當金屬擋板打開時,可以阻擋靶材分子到達樣品表麵,所以它叫做樣品擋板。開始蒸鍍時,需將其打開。樣品台可以旋轉,其下方有掩模版,用來得到特定的薄膜圖案,而它上麵的樣品支架可以取下來裝樣品,裝好後再安裝回去。”

將艙內情況了解完畢後,許秋開始做蒸鍍前的準備工作。

兩批基片的器件結構不同,需要分兩次進行蒸鍍。

第一批是正常結構,也就是蒸鍍鈣和鋁。

許秋首先在鎢簍中裝滿99995純度的鋁錠,然後讓學姐幫忙打開鈣束源爐的擋板。

擋板的開關是數控的,需要在手套箱外的總控台操作。

打開擋板後,他取出束源爐內部的陶瓷坩堝,將上次使用後剩餘的殘渣倒出,再加入兩勺新的99995純度的鈣粉末。

陶瓷坩堝是特質的,可以至少承受1000攝氏度以上的高溫,且十分穩定,不會與靶材反應,產生雜質。

完成後,他讓學姐關閉束源爐擋板。

最後,將一片片基片正麵朝下放置在樣品支架上,再將樣品支架放回樣品台。

“學姐,沒有問題吧。”許秋看向陳婉清。

“嗯嗯。”陳婉清點點頭。

許秋將艙門從右往左推回原位,然後旋轉艙門上下的兩個旋鈕,直至無法轉動。

他離開手套箱,跟隨學姐來到總控台,剩下的操作主要在總控台完成。

總控台接近兩米高,由多個模塊拚接而成,一共有30多個控製按鈕。

陳婉清道“旁邊有操作說明,嚴格按照說明來做就行。”

許秋拿起《真空鍍膜儀使用說明》翻看,隻有兩頁a4紙,並沒有想象中的多。

他表麵上在看說明書,實則在心中查看係統。

係統已經將學姐的技能複製了,可以看到每步操作的細節,所以文字版的說明書意義已然不大。

“我看完了。”許秋道。

“這麼快?”陳婉清道“行,那你來操作吧,有什麼問題我會提醒你的。”

第一步是打開循環水係統和空氣泵。

前者用來冷卻分子泵,而後者用來推動樣品擋板。

許秋找到位於總控台後麵的循環水裝置,按下綠色的啟動鍵,便聽到儀器發出嗡鳴聲,仔細聽的話還有水流聲。

然後,他走到空氣泵旁邊。

空氣泵上有一個橙紅色的瓶蓋大小的開關,需要拉起來,才能啟動機器。

許秋試著向上拉,開關卻紋絲不動,他也不敢太用力,便說道

“學姐,打不開。”

“用力啊。”

“砰!”



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