一是沒那技術，二是沒必要用那技術。
那些東西是為了n級彆的精度準備的，對於現在這個高振東隻要求5μ的來說，差著幾千倍呢。
工件台總體看起來個頭不算小，不是下麵一個帶導軌的架子上麵一個台子那麼簡單，頂部是工件台係統，中間是隔振係統，底部才是基座，不過後兩者嚴格說來不是工件台的一部分，是光刻機的一部分了。
“介紹介紹吧，易師傅。”
這裡麵，八級鉗工易中海無疑是領頭的那個，反而沒有專業的機械設計人員，主要是廠裡沒有，所以這個東西，全靠這幫大小師傅的經驗來完成了。
高振東點了名，易中海就指著機器，一點一點的介紹起來，用語平實，有不少他們鉗工車工等工種的行內話，高振東還得問一問是什麼意思才能完全理解，頗有一點前世看互聯網黑話的感覺。
師傅們對高振東毫不遮掩自己在這方麵的短處，大大方方問問題的作風，也是心中認可，對味兒！一個個的都熱情解答。
經過一番溝通，高振東大概明白了這個工件台的基本路線和原理，高振東要求的精度，沒超出各位大師傅的能力範圍，也沒玩彆的花活兒或者高科技，差不多就是用機床減速機構實現的精確運動控製。
減速機構說起來是減速，根子上就是按照一定比例改變運動狀態，其實可以用於不同的用途，力矩縮放、尺寸縮放、運動狀態縮放等等，都行。
宏動用的齒輪，微動用了絲杠，三軋廠的大師傅們通過精心的設計，讓齒輪組、絲杠等等巧妙配合，實現了對工件台的運動的精確定位。
在日後不算精確，這個時候可就很精確了。
對於這個東西，高振東既沒有要求運動速度，也沒要求定位速度和穩定速度，這讓大師傅們做起來需要顧忌和考慮的東西就更少，目標既明確又純粹。
那些指標，是自動化生產需要的，但是高振東現在並沒有考慮那個，和pb與焊接不同，i這個東西整個產業規模暫時還達不到，生產那麼快乾嘛。
先解決有沒有，參與人員經驗多了信心足了，再繼續改進就是。
高振東前世，我國77年搞的接觸式和接近式光刻機，也是手動的。
高振東看著手上的工件台參數表，他這個時候，有一點感受到彆人麵對他的時候的感覺了。
那就是驚喜，我本來沒想要這麼好的，怎麼你就拿出這麼好的東西出來了？萬萬沒想到啊。
“易師傅，這個移動標準差和移動平均差，你們已經做到15μ了？”高振東語含驚喜。
移動標準差決定了光刻線寬，移動平均差會影響套刻精度，這兩個指標，是高振東在這一塊最看重的，而彆的指標都往後稍稍。
易中海和所有的師傅對望一眼，麵帶自豪。
“是啊，我們搞了一下子，大家合計了一下，覺得以手上的條件，加把勁，其實能搞得更好。於是大家各自想辦法，拚了老命的把這個降到了15，想來對你們來說，應該是有用的。”話說得樸實簡單，但是其中過程的艱辛應該是不少。
看著易中海在工件台上一陣操作，現場的驗證了15μ的運動精度，高振東一拍大腿“這可太有用了！各位師傅，這麼說吧，你們已經實現了我下一步想要達到的精度目標，是大跨了一步啊！謝謝你們！”
說完，高振東後退一步，給大家行了個禮，然後抬起頭來。
“各位師傅，我在此宣布，特種工藝工件台課題，原理樣機基本成功，可以轉入下課題研究的下一階段，謝謝所有參與者的辛勤勞動和艱苦付出。”
各位師傅齊齊鼓掌，這位高總工為人，那真是沒得說。
對於高振東來說，這兩個指標達到了15μ，至少在工件台一塊，就能支撐住5~8μ的線寬製程，這大大的超出了原本的預期，加快了設想中的進度。
而工件台的解決，意味著掩膜台也得到了解決，兩者在結構和功用上是高度相似的，隻是一個放掩模，一個放矽片。至於光學係統，基本是不動的，那玩意精貴著呢，調整好了就彆動了，讓掩模和工件自己動才是正理。
高振東抬起頭來，招呼秦懷茹“秦師傅，麻煩你一下，你到三分廠廠辦，叫他們通知總廠宣傳處的同誌過來一下。”
直接叫秦懷茹的原因，是因為這裡他熟悉的隻有易中海兩師徒，這種跑腿的事情，自然不太好叫易中海去做，那就隻有辛苦一下秦懷茹了。
秦懷茹應了一聲出去了，高振東笑道“各位師傅，這個事情雖然前麵要走的路還長，但是這個喜訊，我們至少在廠內還是要好好報道一下的。”
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