3納米極紫外光？/br檢測光束設備給出的數據反饋讓所有人大吃一驚，3納米的極紫外光束，這豈不是說他們即將具備製造3納米芯片的條件？/br眾所周知，在不考慮《多重曝光技術》的情況下，想要刻出幾納米級的芯片，就要先製造出多少納米的紫外光光源。/br193納米的深紫外光還好說，大自然裡麵也能找得到，但13.5納米及以下的極紫外光，那就必須由人為創造。/br深紫外光和極紫外光，和分彆對應了DUV光刻機和EUV光刻機，後者現在還處於禁止出口龍國的設備清單裡麵。/br一旦這束光源被證實，確實是可以運用於光刻的極紫外光，那麼整個芯片行業都將被顛覆。/br“真是3納米嗎？”/br夏揚神色激動，向前一步。/br他大學雖然學的不是半導體，但這並不代表他不懂芯片製造。/br想要光刻14納米芯片，就要製造13.5納米波長的極紫外光，這在各種半導體谘詢媒體鋪天蓋地宣傳下，早已經人儘皆知。/br3納米波長？/br豈不是能刻3納米芯片？/br雷兵也忍不住上前一步，詢問道：“這束光能用嗎？如果能用是不是意味著我們能造3納米芯片了？”/br現在主流芯片是14納米，無論是龍興科技的SOC上帝芯片，還是蘋果公司的A9s仿生芯片，亦或者說是髙通公司剛剛推出的驍龍821芯片，它們都是14納米製程，根本夠不著3納米的邊邊。/br要是真能造3納米芯片，那可不是小小的科技震撼，而是向整個半導體芯片行業扔了個蘑菇彈，要顛覆整個行業的事情了。/br“不能這樣說。”/br陳星從震撼中回過神，給雷兵與夏揚講解道：“具備光源還不夠，如果真要造3納米芯片，我們還要經曆芯片設計與研製光刻膠。”/br在半導體領域，可不僅僅光刻機和紫外光有納米等級，光刻膠同樣有納米等級區分。/br像目前龍興化工研製的1號光刻膠，它的曝光波長就在193納米，最高支持7納米芯片製造，這還是有多重曝光技術加持的情況下。/br想要製造出3納米芯片，3納米極紫外光、3納米芯片電路設計、3納米曝光波長光刻膠缺一不可，這也是為什麼，芯片納米等級推進緩慢的原因。/br每推進一步，都需要各行業跟進，一旦說光刻膠不行，那有極紫外光和電路設計圖也沒用。/br正因為技術門檻高，大洋彼岸才能用芯片做文章。/br“總裁說得沒錯。”林天也給予了肯定，他回頭看向兩位局長道：“現在說3納米芯片還為時過早，不過我們可以先試試這13.5納米波長的極紫外光，看看它能不能滿足芯片生產需求。”/br“這句話在理。”/br“確實是我們操之過急了。”/br雷兵和夏揚點了點頭。/br他們屬於是懂一點，但並不知道半導體芯片領域可不僅僅隻有極紫外光，還有N多的細枝末節，隻有全部攻克才能造出芯片。/br“趁著天沒亮，我們儘快測試光束的可行性吧。”陳星提醒一句。/br他們現在可是關了全深城的電力供應，哪怕是淩晨4點鐘，但依然會對城市造成影響。/br“我馬上操作。”/br林天點了點頭回應道。/br剛說完，他立馬看向設備操控台，開始輸入指令，時不時還跑到一側去操作。/br光刻工廠不同於光刻機，它更像是一條完整的自動化流水線，隻需要裝填半導體矽片以及光刻膠與配套試劑，輸入指令後就可以進行自動化生產。/br林天在檢驗了十幾束13.5納米波長的極紫外光後，也發現了單色性最好的一條光束，將它設定為1號光刻區域。/br又經過了十分鐘的參數調試，排除外故障情況，林天輸入了確定工作的指令。/br下一秒。/br運輸裝置自動取片。/br存放在特定區域的半導體矽片被靜電吸盤吸起，運送到清洗區域，洗掉附著在半導體矽片表麵的灰塵和雜質。/br在清洗完成以後，半導體矽片會通過特殊運輸通道，運往下一個步驟進行烘烤，待半導體矽片徹底乾燥將繼續運往下一個步驟，塗抹光刻膠。/br自動取片。/br自動清洗。/br自動塗膠。/br自動光刻。/br這就是光刻工廠，亦或者說光刻全自動工廠。/br兩塊光掩膜版已經重疊，他們在特定/br這也是為什麼第一期的光刻工廠隻有5000平的原因，因為建造太大也沒用，像靜電吸盤和各類自動化運輸的設備，都是需要定製化購買的，關鍵有些設備國內還沒有，比如靜電吸盤設備。/br第一期相當於測試，等測試通過就可以擴建二期、三期甚至是第四期的光刻工廠。/br當然了。/br前提是可以能光刻成功。/br“我們沒有單獨完整的SOC上帝芯片光掩膜版，隻能用兩塊陰陽掩膜版堆疊在一塊形成完整圖案，這又會出現個問題。”/br林天喃喃自語。/br像似給陳星幾人解釋，又像似說給自己聽。/br“那就是兩塊光掩膜版堆疊，兩塊透明基板會削弱極紫外光能量，導致光刻失敗。”/br“為了解決這個問題，我加大了粒子加速器的功率，讓電子運動的速度再次增加。”/br“理論上來說，運行功率的加大，會同步放大電子運動的速度，電子在環形存儲器的速度越快，輻射出的極紫外光能量就越強，但我並不能確定這個數值是不是正確的，隻能說理論可行。”/br光刻工廠沒有人測試過，誰也不知道行不行。/br現在又因為光掩膜版限製，林天隻能加大功率，這給測試又增添了不小的難度。/br“試試就知道了。”/br陳星默默舉起手機拍攝。/br雖然他們在操控室，但麵前的屏幕有顯示潔淨室的畫麵，根本不需要親自前往。/br林天微微頷首，沒有說話，他雙眸注視著監控畫麵，神色也顯得格外緊張。/br烘乾冷卻，塗滿光刻膠的半導體矽片已經被運往了光刻區域，隻剩下最後的光刻步驟。/br隨著透鏡組移動到指定位置，13.5納米波長的極紫外光發生了折射，精準地照射在兩塊圖案互補的光掩膜版上，而光掩膜版上麵的完整圖案被照射後，最終落到待曝光的半導體矽片表麵。/br“滋——”/brArF光刻膠遇到光源，內部開始發生化學反應。/br而ArF光刻膠又分正膠和反膠，這次曝光用的是正膠，被曝光區域的光刻膠會發生化學反應，沒曝光區域則不受到影響。/br一塊區域被曝光後，透鏡組立馬移動，側開照射光源，待移動平台調整後繼續移回正位，對下一個區域進行光刻曝光。/br12寸半導體矽片，大概能產出232塊1.6×1.6的成品裸片，也就是說需要曝光232次。/br目前來說，曝光一次的速度大概在1秒，這就需要232秒，也就是差不多4分鐘才能把一張半導體矽片全部曝光完成。/br雖然這個速度相比較於光刻機慢了差不多一倍，可光刻工廠畢竟是國產自研，而且是第一代產物，後續透鏡組和移動平台還能繼續優化，追趕上光刻機的光刻速度不是不可能的。/br在等待了四分鐘後，林天看向陳星等人解釋道：“考慮到兩塊光掩膜版的能量消耗，我們先不急著拿去顯影，讓半導體矽片再次加熱，加劇光刻膠的化學反應。”/br陳星、雷兵、夏揚微微頷首，都在等待著結果。/br現在這裡陳星算半個門外漢，雷兵、夏揚則是都是門外漢，隻能聽林天安排。/br他彆說拿去烤了，哪怕是燒，他們也會覺得很合理。/br隨著林天輸入指令，本該送去顯影的半導體矽片被傳送去了烘烤區域，進行二次加熱，加劇ArF光刻膠內部的化學反應。/br當這步完成以後，半導體矽片再次被運輸，它來到了顯影區域。/br先用去離子水潤濕矽片，緊接著把矽片放在顯影平台，上方的機器設備噴出顯影液，均勻地撒在半導體矽片表麵，進一步溶解被曝光的部分區域。/br隨著這個步驟完成，半導體矽片表麵已經清晰可見電路圖案，隻差最後的衝洗，將未曝光部分黏著的光刻膠全部清洗掉。/br“我好像看見圖案了。”/br雷兵瞪大雙眼，不敢錯過任何一絲的細節。/br“我也看見了。”夏揚附和道。/br剛才半導體矽片清洗拿出時，可以清晰看見矽片表麵密密麻麻的電路圖案。/br“有電路圖案是好事，但還需要經過電路測試才能知道芯片能不能正常運行。”/br陳星講解道。/br經過了開天芯片、輕舟芯片、SOC上帝芯片多次耳濡目染，他已經算半個行內人了。/br曝光、蝕刻、顯影、清洗他都略懂一二，當然了，隻是略懂，還停留在理論知識層麵。/br不過縱使是這樣，雷兵還是忍不住豎起拇指稱讚道：“想不到陳總不僅在商業領域有所建樹，原來在芯片領域也有自己獨到的見解。”/br“確實想不到。”/br夏揚也附和一聲。/br本以為陳星什麼也不懂，沒想到人家出口成章，這讓他們都感到了一絲意外。/br聽著兩人稱讚，陳星也幾位謙虛道：“不算是見解，隻是耳濡目染多了記下的知識點。”/br“能記下也是個本事。”/br雷兵笑道。/br夏揚也點了點頭，附和道：“沒錯，記憶力不好的想記也記不住，陳總能記住這些流程，足以見得龍興科技深耕芯片的赤子之心。”/br在兩人一唱一和拍陳星馬屁的同時，全自動化的生產線已經把顯影後的半導體矽片送去切片，進行最終電路測試。/br林天看著“檢測中”的提示，看向陳星說道：“如果可以通過，二期光刻工廠就可以開工了，不過能源還是個問題…”/br他目光看向夏揚。/br後者立馬會意，連忙說道：“陳總、林首席你們放心好了，隻要證實光刻工廠可行，天一亮我就回去召開市級會議，主題就是建設你們的能源輸送通道。”/br“沒錯。”/br雷兵附和一句，繼續說道：“彆的地方不敢保證，但在深城，夏局還是可以說上兩句話的。”/br“包在我身上。”/br夏揚拍了拍胸口。/br他們都是混體製的，當然明白國家目前的主推方向。/br要是能協助龍興科技完成光刻工廠的建設，那他們所有人說不定都可以往上走兩步。/br體製內，誰不想進步？/br有進步的機會，他們可不會放過，更何況是涉及“芯片”的。/br“我先謝謝兩位的好意，不過…”陳星猶豫了一會，還是決定說出宋衛國承諾的“東電南調”計劃道：/br“就如果說光刻工廠證實可以產出芯片，我希望深城電力局多建設拋狗嶺地區的電力傳輸係統，保障電力輸送，至於電力的話，奉天軍區的宋首長說過，近期會有個東電南調文件下達。”/br雷兵：“？？？”/br夏揚：“！！！”/br這句話說出那刻，雷兵滿腦子都是問號。/br奉天軍區？/br這不是隸屬於北部戰區的嗎？/br你陳星不和南部戰區打交道，跑去北部戰區了？/br身旁的夏揚則是驚訝到懵逼，東電南調文件，這不是剛剛下達的全國性絕密文件嗎？/br難不成…/br它是專門支撐光刻工廠的？？/br想通了！/br夏揚終於想通了！/br他就說怎麼這麼奇怪，明明東部地區用的是國家電網，而深城用的是南方電網，怎麼會突然輸送電力過來，深城也不缺電啊。/br原來是專門支持龍興科技建設光刻工廠的，這也就是說，上邊其實已經是知道的了。/br“咕嚕——”/br夏揚咽了口唾沫。/br他看向陳星的目光，已經帶了幾分敬畏，這個不到三十的青年掌握的能量超乎了他的想象。/br如果可以的話，他真想在陳星耳畔輕聲說一句：“陳總，我夏揚太想進步了。”/br就在雷兵和夏揚內心掀起驚濤駭浪，震驚到大腦空白時，林天突然打斷了他們道：“裸片電路的檢測結果出來了。”/br陳星：“！！！”/br雷兵：“！！！”/br夏揚：“！！！”/br三人立馬側目，順著林天目光注視的方向看去，上麵赫然寫著“電路未檢測出異常”八個大字，最左側的屏幕，還有SOC上帝芯片的全部數據參數，包括納米等級，微架構與運行功率。/br在一一進行比對後，林天神色激動地看向陳星等人宣布道：“成功了！光刻工廠實現了！”/br(本章完)/br（www.101novel.com）