gca當時投入研發ev技術項目的3000萬美元經費,可以收購al40的股權,不是一筆小數目!
gca當時賬上的現金流隻剩下300多萬美元,公司要花錢的地方多的是。
孫健前世在互聯網上看過不少有關alev光刻機的文章,作者紛紛感歎研發和生產ev光刻機之難難於上青天,被稱為外星人的科技水準,是迄今為止人類科技領域所能達到的最尖端技術,沒有之一。
為了打破封鎖,投入巨資,舉國之力也沒有看見成果。
前世90年代末,乾式193n波長光刻機遇到了65n製程工藝的極限,再往下就寸步難行,如何跨入40n製程工藝?成為阻擋所有光刻機等半導體廠商的世界性難題,科學家和產業界提出了各種超越193n波長的方案,其中包括157n2激光,電子束投射(epl),離子投射(pl)、ev(135n)和光等。
相對而言,157n2激光的技術難度稍低,不少公司開始下注157n2激光,其中尼康和vg在這個技術路線走的最遠,是最接近商業化量產的兩家公司。
幾年後,al收購了vg,也擁有了157n2激光技術,又砸下數億美元進行研發,此外al也還嘗試開發ev光刻機。
財大氣粗的英特爾一開始就傾向於激進的ev(135n)方案,希望徹底解決光刻機的波長世界性難題,集中全球頂尖科技精英一起愚公移山,他們說服對高科技開明的克林頓內閣,發起成立了evllcev有限責任公司。
evllc由英特爾和美國能源部牽頭,集中了當時如日中天的摩托羅拉、b和ad,以及享有盛譽的美國三大國家實驗室:勞倫斯利弗莫爾實驗室、勞倫斯伯克利實驗室和桑迪亞國家實驗室,集中數百位世界頂尖科學家,投資2億美元研發經費,從理論上驗證ev可能存在的技術問題。
英特爾當時打算邀請光刻機行業第一、第二位的nkn和al加入evllc,但美國政府擔心最前沿的光刻機技術落入外國公司手中,反對nkn和al加入。
al為了表現誠意,同意在美國建立一所工廠和一個研發中心,以此滿足所有美國本土的產能需求,另外,還保證55的零部件均從美國供應商處采購,並接受定期審查,做出多項讓步後,最後成功加入evllc,能夠享受其基礎研究成果,nkn卻沒有機會加入,失去了同al競爭的機會。
幾年之後,終於論證了ev的可行性,於是evllc的使命完成,公司解散,各個成員踏上獨自研發之路。
al加入evllc後,享受到的研究成果大大加快了其ev的研發進度,2005年摩爾定律陷入停滯,極紫外光刻技術被認為是製程突破10n製程工藝的關鍵,但由於ev光刻機幾乎逼近物理學、材料學以及精密製造的極限,光源功率要求極高,透鏡和反射鏡係統也極致精密,還需要真空環境,配套的抗蝕劑和防護膜的良品率也不高,彆說是對日本與荷蘭,就算是科技全球第一的美國,舉國之力獨自突破這項世界最尖端的技術,也是癡人說夢。
由於技術難度極高,需要巨額的研發資金,尼康和佳能隻得選擇放棄,徹底淪為中低端光刻機廠商。
al成為唯一的候選人!
al以23的股權得到英特爾、三星和台積電的53億歐元的研發ev光刻機的資金,而這三家客戶也因此獲得優先供貨權。
al也成為美國大財團控股的荷蘭高科技公司!