binf/b/div前世,euv光刻機的聯合研發成功幾乎逼近當時人類物理學、材料學以及精密製造的極限,除了光源功率要求極高,透鏡和反射鏡係統也極致精密,還需要真空環境,配套的抗蝕劑和防護膜的良品率也不高,彆說a或nin,就算是科技實力世界第一的美國,以一國之力,完全自主製造一台euv光刻機,比登天還難。
euv光刻機被稱為人類工業皇冠上的明珠!
湯普森院士團隊雖然沒有研製成功euv,但研究成果對ga的光源和光學精密設備的不斷改進貢獻極大。
由於孫健重生,瀕臨破產倒閉的ga浴火重生,重回全球光刻機的龍頭企業之一,成為euv聯盟的重要成員,湯普森院士團隊專門研究euv光源7年,取得了不少重要技術成果,euv聯盟研製成功euv光刻機,肯定不需要15年。
ga將成為全球唯一生產euv光刻機的廠家,ati將成為最大的受益者,雖然孫健也樂見其成,但以美國人的性格,極有可能讓ati交出ga的控股權,嚴禁出口euv到中國,這不是重生者願意看到的結果。
前世被美國技術封鎖,舉國之力,孫健穿越前沒有看到國產euv光刻機的影子。
經過一年多的努力,be已經研究成功8英寸晶圓、250n製程工藝的光刻機,正在抓緊時間研製180n製程工藝的光刻機。
製程工藝不斷突破對be來說都是突飛猛進的進步,但同nin和ga相比,還有2代技術差距,沒有大肆宣傳,避免被仇視中國的美國國會議員盯上。
不到10年時間,從4代技術差距縮短到2代,be的管理層和技術人員都儘力了。
孫健知道,要是沒有65n製程工藝這道難關擋在光刻機業界的前麵,有他出錢出力,be在15年內也很難趕上光刻機技術實力雄厚的ga和nin。
連李昌傑都不知道,be研究院院長鄧國輝院士和所長錢富強研究員率領光源研究所的140多名研發人員,經過2年半的潛心研究,有孫健不斷「點撥」,終於在去年7月研製成功浸沒式光刻係統技術,arf激光器發射的193n光源通過純淨水的折射,得到了波長134n的光源,解決了業界遇到的193n波長的世界級難題,還沒有申請公司發明專利,秘而不宣。
隻能委屈錢富強和140多名研發人員了。
研究員錢富強憑借主持研發成功浸沒式光刻係統技術,攻克這項光刻機光源上的世界級難題,憑借這一世界級的重大科研成果,就能申請工程院院士。
鄧國輝和錢富強從去年8月開始立項,be投資1億元,帶領光源研究所,靜下心來開始研發euv。
作為上市公司,be發布公告,投資1億元繼續研究193n波長的世界級難題。
即使能得到蔡司公司最先進的透鏡和反射鏡係統,有資金支持,孫健也懷疑be研究院在20年內能否研製成功euv光刻機?
停止研究也不可能買到euv光刻機,20年不行,30年!
「李總,布羅迪先生,餘總已經拿到美國商務部的同意文件,我們明天前往美國,180n製程工藝的半導體生產線的基建要加快進度,增加人手,保證11月底完工。」
孫健今天參觀的這條be研發和生產的500n製程工藝半導體生產線的建設工程已經到了設備安裝階段,按照規劃,7月下旬將進行試生產。
「好的,董事長!」