binf/b/div「鄧院長,我代表京城半導體公司,獎勵研發部500萬元。」
啪啪……
8月15日,接到總經理魏建國的電話,京城光刻機研究院研發成功了90n製程工藝光刻機,孫健非常高興,第二天上午就乘飛機從江城來到京城,在京城光刻機研究院會議室接見了包括院長鄧國輝院士、副院長歐陽明院士、副院長陳偉長院士、光刻機自動化研究所所長夏季常院士在內的200多名90n製程工藝光刻機研發部的研發人員。
京城光刻機研究院在不到一年的時間內研發成功90n光刻機,厚積薄發,孫健不會感到驚訝,經過近9年的快速發展,加上舍得投資,京城光刻機研究院下屬10家研究所(部)人才濟濟,國內近八成的頂尖光刻機人才都在這裡。
京城半導體公司擁有4名光刻機專業頂尖的院士,教授、研究員、教授級工程師近百人,這在國內科研院所和公司中都是絕無僅有的事情。
如今沒有專業博士文憑,很難進入京城光刻機研究院。
1998年9月,ga和nin先後研發成功90n製程工藝的光刻機;2000年8月,inte、ib、it、ad、hp各自投資25億美元(包括基建費用)建設的一條12英寸晶圓、90n製程工藝的半導體生產線先後量產。
2000年,a、ann、vg先後研製成功90n製程工藝的光刻機。
1999年,pga半導體公司申請從ga購買一條12英寸晶圓、90n製程工藝的半導體生產線,但遭到美國商務部否決,重新申請購買一條12英寸晶圓、180製程工藝的半導體生產線,3個月後才批準,2000年12月7日,這條生產線才量產。
得隴望蜀!
2000年12月底,孫健慫恿中村三郎代表曙光東芝晶圓公司,從東芝公司引進一條12英寸晶圓、90n製程工藝的半導體生產線,但遭到日本半導體協會拒絕;曙光東芝晶圓公司花費15億美元(包括從be采購40台250n製程工藝的光刻機)從日本引進了一條12英寸晶圓、180n製程工藝的半導體生產線,如今還處於設備安裝階段,9月下旬試生產。
國內有了二條12英寸晶圓、180n製程工藝的半導體生產線,台積電、三星都隻有一條。
京城半導體公司(be)研製成功的90n製程工藝的光刻機雖然比ga和nin晚了近三年的時間,比a、ann、vg晚了一年多的時間,但已經是一項了不起的成就。美西方國家禁止出口最先進的技術和生產線給國內,孫健多次遭遇「有米無鍋」的局麵。
1993年3月,孫健奉命接手工業部四十五所、中院微電子研究中心和中院滬海光學精密機械研究所及其配套工廠,組建be,be生產的光刻機,製程工藝同ga和nin相比,相差四代,落後20年都不止!
be同中院、華清、燕大、哈工大、國科大、華中大學、滬海矽片製造廠、冰城光源材料廠、金城激光器製造廠、金城金屬氣體廠等97家科研院所和公司長期保持合作關係,聯合開發單晶矽、光源材料、激光器材料和光刻氣體等技術攻關項目。
半導體產業發展日新月異,要不是全球光刻機產業被193n波長的世界性光學難題卡住了,ga和nin早就研製65n製程工藝,甚至40n製程工藝的光刻機了。
一步先步步先,光刻機的製程工藝不是花錢就能迅速解決的技術難題。
孫健將be趕上ga和nin的希望主要寄托在全球光刻機產業被
卡在193n波長的世界性光學難題上。