作為目前西方世界上唯一能夠生產最先進euv光刻機的製造商,as哪怕已經掌握了5納米甚至是3納米這種極其先進半導體製程的核心光刻機。但是在它發展的過程中,卻也並非一帆風順。
按照曆史來看,有些魔幻的是,在2006年之前,全世界半導體霸主還是一個叫做尼康的企業。
霓虹的尼康公司在上世紀八十年代推出了光刻機nsr1010g和商用的步進式光刻機stepper,成為80年代半導體光刻機產業的翹楚,一時間霓虹在科技產業上有了明日之星的範。
“十分巧合”的是,同年代,荷蘭飛利浦公司與一家荷蘭芯片設備代理商合資成立了&n。隻有賬麵上的幾十個員工,辦公地點也是傳說中的簡易廠房。
而後這家不被人看好的公司,在成立的第一年就能神奇的開發出第一代的步進式掃描光刻機pas2000,並且以此十分順利的爭取到市場訂單。更是直接在北美的納斯達克以及荷蘭阿姆斯特丹交易所進行同步上市,而且還成功了。不僅賺了大錢,還十分果斷的從飛利浦手中回購了全部的股份,實現真正意義上的完全獨立。研發出了第一台浸潤式光刻機樣機,並且極其順利的先後拿下ib和台積電等國際主流大客戶的訂單。
又一次“十分幸運”的接收到了euv遺產。
這個事情還要從1997年英特爾和美利堅能源部牽頭成立euvc聯盟的時候說起。
當時euv技術發展緩慢,並且需要的資源太多,所以在“公平公開”的競爭當中,美利堅最終選擇了當時技術儲備還不強的as加入euv聯盟。由此獲得了美利堅甚至是世界上最領先的半導體技術、材料學、光學以及精密製造等相關技術的優先使用的資格,同時as也十分“懂規矩”的將自己的生產、接受監管的權限交給了山姆大叔政府。
數年時間,euvc聯盟的研發人員發表了數百篇論文,大幅推進了euv技術的研究進展,證明了euv光刻技術的可行。
但就在果實即將成熟的時候,euvc聯盟竟然神奇的解散了。進行了瓜分,從聯盟解散的世紀之初,到2010年,as吸收完聯盟遺產,並且在美利堅資本和政府的大力幫助下,成功生產出第一台euv光刻機——nxe3100的euv光刻機,,並且將其交付給了台積電進行芯片代工生產。馬首是瞻,其每年生產的光刻機都是各大半導體企業競相追捧的寶貝。
美利堅也成功實現掌控半導體領域的目的。,可以輕鬆遏製全球任何一個半導體芯片代工企業。右手有資本主導的英特爾,控製著每一台計算機的核心cpu。d這個新人,但追根溯源,ad掌握的技術也是美利堅的果子,所以也是一家人。在2012年還提出一個“客戶聯合投資計劃”,簡稱為ip。
簡單來說,就是接受客戶的注資,客戶成為股東的同時擁有優先訂貨權。能夠擁有大量資金進行研發,同時也保證了客戶對先進光刻技術的優先使用權。
當時的半導體行業三大龍頭:英特爾、台積電、韓星,自然是紛紛響應,不敢不從。
英特爾斥資41億美元收購荷蘭芯片設備製造商阿斯麥公司的15股權,另出資10億美元,支持阿斯麥加快開發成本高昂的芯片製造科技。台積電投資8.38億歐元,獲取阿斯麥公司約5股權。韓星斥資5.03億歐元購得3股權,並額外注資2.75億歐元合作研發新技術。
最終,阿斯麥以23的無用股權,不僅獲得了53億歐元的資金,還直接將世界前三的半導體龍頭給緊密捆綁了起來。的半導體帝國興盛史,從各方報道來看,充滿了神奇、勵誌,美利堅資本、荷蘭創始人都是那麼正義的在推動科技發展,甚至是“不求回報”。
而英特爾、台積電、韓星這些半導體廠商,更是為了讓自己的設備提供商擁有更好的發展,紛紛“握手言和”對其給錢給資源。
隻不過這個被美好的敘述詞彙給包裹的故事,內核卻是美利堅的霸權行徑。
英特爾、台積電、韓星這些公司,哪怕是有商業競爭,哪怕三方誰都巴不得另一方趕緊破產死去,但在霸權的威壓下,也不得不“慷慨解囊”,近乎於上貢一般的給as打錢。
十月二十三日,淩晨。
在荷蘭第五大城恩荷芬城郊,世界半導體設備第一大廠as總部。
一棟被安保和軍隊嚴密保護著的巨大廠房裡,有無數穿著無塵工作服的員工正在車間工作。
哪怕此時是淩晨三點半,根本不是“人道主義的西方”該擁有的工作時間。
euv光刻機所使用的euv光線能量有極高的破壞性,而嚴密的光刻機在控製這種光線的時候,自然也需要極其敏感。精密的材料設備。
甚至因為空氣中的各種分子會乾擾euv光線,所以這個巨大工廠的許多車間,都是真空環境。首席執行官溫彼得,此時也沒有在床上躺著。
他皺著眉頭,在車間外看著裡麵的員工和機器,神情陰霾。
他背負著雙手,來回走動著。
“先生,請不要在車間外隨意走動,您應該知道工廠內要求安靜。”光刻機某項目的工程師科爾森,出言打斷了溫彼得的動作。首席執行官溫彼得自然不會唱什麼反調,覺得對方在冒犯自己的權威。
相反,他態度頃刻間轉變為謙遜,抱歉道:“請原諒我的煩躁,實在是競爭對手給了我們太多出乎意料的‘驚喜’。”負責具體項目的工程師,科爾森自然不是什麼酒囊飯袋。
他指著不遠處的一個車間說道:“euv光刻機最關鍵零件之一,由德國蔡司生產的反射鏡需要做到極限的完美無瑕,瑕疵大小僅能以皮米計算。
首席執行官,您應該知道,一奈米為百萬分之一厘米,而一皮米也就是一奈米的千分之一。
這是什麼概念?
如果反射鏡麵積有整個德國領土的大小,那麼這塊反射鏡的最高突起處不能高於一公分。”
說道這裡,工程師歎了口氣。
他轉過頭,望著東方,感慨道:“在遙遠的大夏,他們進入精密工業行業才多久,現在就已經做出了不遜色於我們的光刻機。
九州科技旗下的效光科技公司製造出了穩態微聚束發展出來的ss1b光源,那麼浦東微電子又是從哪裡弄到了如此平整的反射鏡呢?
還有九州半導體所使用的光刻膠生產工藝,蝕刻工藝,每一個環節的工程設備又是如何調整?
這真是讓人百思不得其解的謎團。”